隨著(zhù)半導體工藝制程的進(jìn)步,大規模集成電路的制程精度已經(jīng)全面進(jìn)入納米時(shí)代,隨著(zhù)對氣流組織以及微環(huán)境控制的研究,固體顆粒污染物對于潔凈室環(huán)境的影響越來(lái)越容易控制,而空氣分子污染AMC ( Airborne Molecular Contamination )逐漸成為影響潔凈室環(huán)境和工藝制程良率的重要影響因素,而如何有效地去除AMC污染則成為近年來(lái)暖通空調行業(yè)研究的重點(diǎn)問(wèn)題。1 AMC污染的危害與防護一般而言AMC污染中有幾個(gè)主要污染物為堿類(lèi)NH3、酸類(lèi)SOx、NOx、HCl及有機類(lèi)...
隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的日新月異,尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫藥等工業(yè)的發(fā)展,促使潔凈技術(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)。現代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現代化科學(xué)實(shí)驗活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計算機就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一,電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規模集成電路。特別是20世紀80年代大規模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展,大大促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。一、概念及原理Fan Filter Unit (風(fēng)機過(guò)濾單元機組)簡(jiǎn)稱(chēng)FFU,是由高效過(guò)濾器( HE...
在高效過(guò)濾器上風(fēng)側發(fā)DOP檢漏時(shí),在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側必須設有DOP的導入裝置及濃度檢測管。這兩個(gè)管子也可以用來(lái)檢測過(guò)濾器的阻力。在檢測中,如果室內干擾因素太多,為排除干擾,可在風(fēng)口出口加隔離罩,在罩內進(jìn)行檢測,這樣檢測的數據較為準確。尤其要注意的是,在過(guò)濾器和安裝框架之間的檢漏,可以沿安裝框架檢漏,也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏,但要排除卷吸氣流的干擾,要避免箱體.上的積灰干擾,尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過(guò)濾器的框架。在有速度的氣流中采樣,采樣速度應等于氣流速度,否則采...
一、百級潔凈室運用FFU風(fēng)機過(guò)濾單元設計方案1、百級區吊頂滿(mǎn)布FFU風(fēng)機凈化單元。2、潔凈風(fēng)從百級區側墻下部高架地板或進(jìn)入豎風(fēng)道,通過(guò)豎風(fēng)道進(jìn)入靜壓箱,經(jīng)FFU風(fēng)機凈化單元送入室內達到循環(huán)作用。3、百級區上部FFU風(fēng)機凈化單元垂直送風(fēng),百級區FFU風(fēng)機凈化單元與吊架間的滲漏,為室內流向靜壓箱,對百級區潔凈度造成影響較小。4、FFU 風(fēng)機凈化單元重量輕,采用罩入式安裝方式,使安裝、更換過(guò)濾器及維修更加方便。5、縮短建設周期。FFU 風(fēng)機過(guò)濾單元系統節能顯著(zhù),從而解決了空調機房龐...
一、前言隨著(zhù)我國經(jīng)濟和科技的高速發(fā)展,以電子產(chǎn)品為主的高科技產(chǎn)品生產(chǎn)得到了迅速的發(fā)展,大量的集成電路制造工廠(chǎng)、液晶制造工廠(chǎng)以及各類(lèi)電子產(chǎn)品制造工廠(chǎng)大量興建。電子工業(yè)廠(chǎng)房大多是密閉的建筑,并且通道狹窄曲折,在生產(chǎn)過(guò)程中存在可燃有毒的特殊氣體和化學(xué)品,其生產(chǎn)的特殊要求對廠(chǎng)房給排水及消防系統的設計提出了新的要求。2008年12月15日,由國家工業(yè)和信息化部主編,國家住房和城鄉建設部批準,國家住房和城鄉建設部、國家質(zhì)量監督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布了《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》,并于200...
一、局部高級別凈化代替全面高級別凈化設計時(shí)應根據生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的實(shí)際要求,該高則高,該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區域范圍內,盡量減少高凈化級別面積,以局部高級別凈化代替全面高級別凈化,以降低初投資和運行費用。我國“潔凈廠(chǎng)房設計規范GB50073-2001”中提供的“混合流”以及在集成電路芯片廠(chǎng)中推薦的“微環(huán)境”技術(shù)都是基于這一出發(fā)點(diǎn)。(1) 混合流潔凈室:所謂混合流潔凈室就是將非單向流和單向流兩種所流流型組合在一個(gè)潔凈室內就構成了混合流。其特...
為了使得藥品加工的實(shí)際要求得到滿(mǎn)足,就要切實(shí)建造出潔凈區,保證塵埃、微生物以及溫濕度等能夠得到有效的控制。1潔凈區運行中的常見(jiàn)問(wèn)題1.1潔凈區的衛生環(huán)境設施是否合格通常來(lái)講,潔凈區空氣含塵量是受房間本身衛生情況、各級凈化器以及房間的溫度、風(fēng)向等因素的影響。因此,滿(mǎn).足凈化的首要條件就是房間表面的干凈整潔。1.2潔凈區設備是否節能我國一直針對全球性資源短缺的問(wèn)題,提出可持續發(fā)展的戰略性建議。潔凈區能耗非常之大,因此,在潔凈區的建設和潔凈區空調控制系統的設計工作中,一直把降低潔凈...
1施工準備依據工藝要求,充分熟悉圖紙,了解生產(chǎn)工藝流程,提出對設計的意見(jiàn)書(shū),及時(shí)發(fā)現和解決設計過(guò)程中的缺陷甚至錯誤,從源頭避免和減少不必要的變更。對工藝管線(xiàn)的管徑、材質(zhì)、安裝標高安裝位置和相互間距以及設備機房等進(jìn)行二次設計。并編制詳細的施工組織設計,擬定具體的工料、機計劃和各階段詳細的施工方案。2施工控制2.1土建工程施工控制2.1.1 金屬壁板施工金屬壁板安裝流程如下:按圖紙確定高架地板支柱位置→安裝高架地板支柱→安裝高架地板并調整好其平整度→放大樣并安裝下馬槽吊頂構件→安...
一、肺炎疫苗簡(jiǎn)介目前普遍應用的預防肺炎球菌疾病的疫苗主要有兩類(lèi),肺炎多糖疫苗和肺炎多糖結合疫苗。1)肺炎多糖疫苗肺炎多糖疫苗即23價(jià)肺炎球菌多糖疫苗,包括23個(gè)不同血清型的肺炎球菌,90%的肺炎是由以上病原菌引起,因此23價(jià)肺炎球菌多糖疫苗是國內外健康成人普遍使用的肺炎疫苗。但由于2歲以下嬰幼兒免疫功能發(fā)育尚不完善,該疫苗不適用于2歲以下的嬰幼兒。2)肺炎多糖結合疫苗肺炎多糖結合疫苗是采用蛋白結合技術(shù),將疫苗中的每種多糖通過(guò)共價(jià)鍵的方式與白喉類(lèi)毒素蛋白結合到一起形成的疫苗。由...
一、廠(chǎng)房的平面布置(1)火災危險性定性問(wèn)題“建規”第3.1.2條規定:同一座廠(chǎng)房或廠(chǎng)房的任一防火分區內有不同火災危險性生產(chǎn)時(shí),該廠(chǎng)房或防火分區內的生產(chǎn)火災危險性分類(lèi)應按火災危險性較大的部分確定。當火災危險性較大的生產(chǎn)部分占本層或本防火分區面積的比例小于5%,且發(fā)生火災事故時(shí)不足以蔓延到其他部位或火災危險性較大的生產(chǎn)部分采取了有效的防火措施,可按火災危險性較小的部分確定。在實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中,比如中藥提取車(chē)間的醇提取和收膏收粉區,醇提取屬于甲類(lèi)生產(chǎn)區域,而收膏收粉屬于丙類(lèi)生產(chǎn)區域,...