一、潔凈室的噪音控制
潔凈室噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關；①非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41dB(A)~64dB(A)范圍內(nèi)，平均為54dB(A)；②單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51dB(A)~75dB(A)范圍內(nèi)，平均為65dB(A)，非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。
潔凈室的平、剖面設計應考慮噪聲控制要求，維護結構應具有良好隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近，各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品，對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備，應設置專用隔聲設施。
凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔震等控制措施，室內(nèi)的排風系統(tǒng)除事故排風外應進行減噪設計；凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)允許噪聲級要求，防止風速過大而產(chǎn)生附加噪聲；風管內(nèi)風速選用，總風管為6~10m/s，無送、回風口的支風管為4~6m/s，有送、回風口的支風管為2~5m/s；控制設備噪聲首先應從聲源上著手，設計時應首先選用低噪聲設備，在某些情況下由于技術或經(jīng)濟上的原因而難于做到時，應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，例如把高噪聲設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)；排風系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需設排風系統(tǒng)，注意選用低噪聲風機等。
二、潔凈室的氣密性要求
氣密性是潔凈室潔凈度、室內(nèi)壓力能否達到設計要求的保證，不同材料相接處均應有接縫，管道穿墻、吊頂處的洞口周圍應修平、堵嚴、清潔，并用密封材料嵌縫，隱蔽工程的檢修口如吊頂檢查孔、管道閥門檢修孔等周邊應粘貼氣密性的密封墊；當采用彈性材料密封時，應預留適當寬度和深度的槽口和縫隙，寬度一般金屬間接縫為2mm~3mm，而非金屬接縫為3mm~4mm。
對凈化空調(diào)系統(tǒng)的安裝也要采取相應措施，金屬風管咬口翻邊處的縫隙和孔洞都要涂密封膠或貼密封膠帶，法蘭螺釘孔和鉚釘孔距不應大于100mm；密封墊盡量減少接頭，接頭要做成階梯形或企口形，并涂以密封膠，法蘭所有螺釘要均勻壓緊；高效過濾器與框架之間的密封可采用密封墊、不干膠或槽液密封，采用密封墊密封時，其厚度不宜超過8mm，壓縮率為25%~20%，以保證密封效果；空調(diào)器所有接縫都要作密封處理，表冷段凝結水排水管上應設水封和閥門，以保證空調(diào)密閉不漏風。
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